二手 FEI Expida 1265 #9210949 待售

FEI Expida 1265
ID: 9210949
System.
FEI Expida 1265是一種先進的離子銑削設備,能夠以次埃精度去除材料。該系統利用氫離子和氧離子的雙源束撞擊底物,並通過濺射和蝕刻導致材料去除。在3D中收集有關離子束位置、輪廓、束角度和撞擊區域的數據,以便準確監控材料的去除。該裝置提供氮氣機和平面磁鐵,產生12 kV的最大加速電壓和高達12 mA的束電流。Expida 1265的真空室容積為1.8升,可以達到好於4.0 x 10-7 Torr的底壓,用非蒸發閥密封,以提高腔室性能和狀態成本。它有一個加速離子束,利用流體動力透鏡技術提供最嚴格的離子束用於高分辨率成像。該工具具有自動聚焦資產,使用紅外激光光學確保腔室運行條件得到優化。質失光譜儀也是FEI Expida 1265的一個獨特特性,IT可以用來測量在銑削或蝕刻過程中真空室內發生的分子質量和反應。該模型采用自動腔室刷新設備,能夠檢測和消除腔室中的任何殘留物和灰塵,確保腔室在最佳條件下工作。Expida 1265還包括一個獨特的雙導航視覺系統.此單元使用高級圖像分析來映射腔室工作區,並計算精密離子銑削所需的二維和三維參數。這臺機器能夠測量到原子水平的特征,產生具有極端細節的高質量圖像。這允許精確的離子束瞄準和精確的材料去除。最後,FEI Expida 1265擁有靈活的軟件控制軟件包和用戶友好的圖形界面。該控制工具可用於監控關鍵參數如氣體和壓力水平、加速電壓和腔室溫度。該軟件還允許控制離子束的形成、銑削和蝕刻過程。通過利用這些先進的軟件系統和離子銑削系統,用戶可以為高精度設計創建可重復且準確的過程。
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