二手 KASPER / EATON / QUINTEL 2001 #9003961 待售

ID: 9003961
晶圓大小: 3"
Mask aligner, 3" ZEISS Split field optics 200W Light source.
KASPER/EATON/QUINTEL 2001是一種微機電系統(MEMS)掩模對準器,用來在各種基板如矽片、半導體晶片或有機基板上精確定位亞微米特徵的圖樣。機器具有6軸功能,在創建高度精確的結構時,可以靈活地執行兩個或多個零件之間的對齊操作。EATON 2001蒙版對準器使用大小光學元件的組合來實現精確對準。大型光學器件用於圖樣在基板上的初始對準,而小型光學器件用於更精細的對準和配準。光學元件集成到5軸監控機構中,該機構使用旋轉和平移兩種方式使圖像精確對齊。對齊器能夠使用不同類型的圖像模式,如線格陣列、點、正方形、矩形和其他形狀。該機還配備了非常精確的位置反饋設備。該系統可確保陣列的對齊符合規格。位置反饋單元的精度取決於舞臺的精度和要形成的圖案的大小。可以根據應用程序調整陣列的大小以及對齊的準確性。KASPER 2001面罩對齊器還有一個非常強大的軟件包,用來編程和控制機器。該軟件提供了一個直觀的用戶界面,可以方便地操作和控制機器。該軟件還為用戶提供統計分析、性能報告和圖形表示,可用於質量控制和提高對齊過程的準確性。總體而言,QUINTEL 2001遮罩對齊器是一個極好的工具,用於需要在不同基板上精確對齊各種模式的項目。它具有強大的軟件和精確的位置反饋機,是制造高精度元件的理想機器。
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