二手 QUINTEL / NEUTRONIX 7000 #9096333 待售

ID: 9096333
晶圓大小: 6"
High resolution mask aligner, 6" Parts system Backside infrared alignment Resolution: (1) Micron with vacuum contact.
QUINTEL/NEUTRONIX 7000是一款高精度的高級掩模對準器。這臺機器是為生產集成電路(IC)所需的復雜對準操作而設計的。手動對齊操作可以替換為對齊器提供的自動對齊功能。QUINTEL 7000使用6-Axis運動控制來精確移動XY軸中的晶圓和掩模幀以及Z軸中的曝光光源。這種軸的組合為細線光刻提供了精確的對準能力。強大的機載計算機和先進的軟件確保了系統的可靠運行和長期穩定。此掩碼對齊器還支持各種特殊功能,如叠加、缺陷審查、對齊校準和自動對焦,以增強性能和可重復性。它還從晶片的頂部和底部輸送多余的光致抗蝕劑,以便清潔溶液可以用來去除任何殘留物,並準備晶片進行光刻。此外,NEUTRONIX 7000還有其他幾個特性使其成為光刻操作的理想選擇。它提供了4英寸晶圓尺寸的能力,允許高精度對準和配準小晶圓。晶片也可以凹進,以便對比正常晶片厚的晶片進行對齊和處理。最後,7000提供了一種內部檢查功能,可以快速輕松地驗證對齊精度。高精度檢查可用於檢查不對齊或特征尺寸等不規則性。此功能可確保最高的對齊操作質量。總體而言,QUINTEL/NEUTRONIX 7000是光刻操作的絕佳選擇,需要精細的對齊和特征尺寸控制。該系統憑借其6-Axis的運動控制、機載計算機、專業軟件、專業功能、4英寸晶圓尺寸容量和內部檢查能力,提供可靠、準確的操作。這些優點使得QUINTEL 7000成為一種功能強大、用途廣泛的先進集成電路制造工具。
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