二手 QUINTEL / NEUTRONIX Q 4000 #9131039 待售

QUINTEL/NEUTRONIX Q 4000是為制造高精度微電子元件而設計的最先進的掩模對準器。該設備將優化的晶圓處理和機器接口與先進的檢振掃描儀結合在一起，以提供高度精確的對準和模式（掩模）暴露在基板上。QUINTEL Q 4000的核心是其高度精確的晶圓放置和掃描功能。它采用了六軸晶圓傳遞級和先進的低慣性檢流計掃描儀，可以根據需要傾斜和旋轉，以達到高精度的結果。該設備還配備了精密運動控制器和用於沿X、Y和θ軸精確掃描的精密編碼系統；最大0.5 μ m的編碼器分辨率；加速度和速度可達8m/s2；且可重復性高達0.01mm。晶片本身被放置在傳輸級，並通過檢流計掃描儀進行掃描，以進行掩模對準過程。該單元能夠同步三個軸，以精確對準掩模與晶片與精確定位堅持最高精度。對準機由於其由透鏡、棱鏡和石英激光光源組成的光學陣列，能夠曝光各種放大倍率的圖案。NEUTRONIX Q-4000能夠處理尺寸和厚度範圍，直徑從1到8英寸，最大厚度為10.0毫米的晶片。刀具的磁場尺寸也是可調的，標準磁場尺寸為50 × 50mm，延伸到130 × 130mm。此外，該資產還可以處理多種晶圓工藝，如旋轉、熱幹燥和背面對準。此外，該模型采用基於Windows NT的軟件包，為用戶提供了眾多晶圓制備和掩碼對準功能的完全自動化。它具有完全圖形化的用戶界面以及豐富的屏幕信息和菜單，以方便用戶。此信息包括有關晶圓運動、目標、字段大小、對齊狀態、掃描參數等的實時更新。Q-4000是一種可靠的、最先進的掩模對準器,適用於需要將圖樣精確對準晶片以制造微電子元件的用戶。NEUTRONIX Q 4000以其六軸晶圓傳輸級、先進的低慣性檢流計掃描儀以及基於Windows NT的自動化軟件設計，為所有應用程序提供準確可靠。