二手 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 IR #9063417 待售
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ID: 9063417
晶圓大小: 2"- 4"
優質的: 2002
Backside mask aligner, 2"- 4"
Wavelength: 365 nm
2002 vintage.
QUINTEL Q7000是一種多用途、高性能的掩模對齊器,用於光刻技術在半導體和光電子等器件生產中的應用。它能夠暴露廣泛的材料,包括石英、玻璃、金屬、陶瓷和晶圓。該Q7000具有16 「x 16」的大型工作領域,允許在光刻過程中對元件進行精確對齊。其先進的光學、數字成像和真空致動氣閘設備確保了光罩的均勻曝光和精確定位。使用系統可選的自動對焦和圖像縫合功能,可達到高達0.5微米的精度。該單元有內置氣體和化學輸送機,以確保光刻過程中源氣體和化學試劑可控。集成的觸摸屏PC提供測量和對準功能,而雙主幹涉儀工具提供增強的光學器件,以減少曝光時間並提高對準精度。該資產的設計目的是盡量減少汙染,並通過其低溫(~ 5°C)、低濕度、法拉第籠罩環境和耐顆粒物汙染提供最大分辨率。它的雙贏自動指令和數據存儲參數使您能夠輕松地從對齊過程中獲得最大的吞吐量。該模型還配備了雙波束功能,可同時提供兩種不同波長模式的圖像,以提高分辨率、精度和對準速度。其優越的空氣過濾設備確保只將清潔空氣引入系統環境。為了安全起見,Q7000有一個Over-ride鎖鑰匙和完全集成的預警單元,這樣就可以在不影響人員安全的情況下使用。機器還有多個選項可以定制,以滿足各種生產過程的要求。QUINTEL/NEUTRONIX Q7000 IR是用於包括半導體、MEMS和光電器件制造以及任何需要精密光刻和掩模對準的過程的理想工具。
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