二手 QUINTEL / NEUTRONIX Q7000 #293603582 待售
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ID: 293603582
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 2001
Mask aligner, 4"-8"
Front and backside IR alignment
2001 vintage.
QUINTEL/NEUTRONIX Q7000是一種通用的掩碼對齊器,用於對齊單個或多個設備陣列應用程序的光掩碼,並對具有不同特性要求的多個設備進行精確處理。它可以用於微加工作業,從基本設備和電路處理到現代嵌入式系統中使用的先進技術。QUINTEL Q7000具有兩軸精密運動階段,可提供底物X軸和Y軸的亞微米分辨率。此階段的相對速度可高達25 cm/s,控制器編程功能可實現陣列制作過程的完全自動化。該流程還與其他環境操作系統(如Windows)集成,以便於使用通用軟件工具進行操作。對於對準應用,NEUTRONIX Q 7000有一個自動對準模塊,使用獨特的「立體視覺」方法來確保所需圖像和圖層的精確對準。本模塊采用精密加工光學和獨特的折射「立體視覺」技術,以確保實現最佳對準和最詳細的圖像。QUINTEL/NEUTRONIX Q 7000的主要特點是它的雙束光刻設備,允許在任何平面表面上的高模式保真度。它利用了兩組經過衍射優化的光束光學器件-一組在基板上,另一組在掩模上-並具有廣泛的聚焦範圍,使其能夠生成線寬超過0.1 um的圖像。雙光束光刻系統的其他特點包括具有高通量執行步進和重復操作的能力,以及具有改進的光刻對比度的較小特征尺寸。Q 7000的其他特點包括:一個耐酸外殼,可用於防止加工化學品遠離基材;一個先進的FOUP清潔裝置,旨在防止工藝受到汙染;以及一個用於輸送適當的凈化氣體的綜合供氣機。Q7000是一種先進的光刻工具,非常適合高質量、高精度的陣列應用。憑借其精密的對齊能力、自動化控制軟件、雙光束光刻資產等特點,是滿足微加工需求的理想解決方案。
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