二手 QUINTEL Q4000 #293663745 待售

ID: 293663745
晶圓大小: 4"
Mask aligner, 4" Table included.
QUINTEL Q4000是一種軟蝕刻、基於接觸的面膜對準器。它旨在實現用於生產半導體器件、MEMS和其他微型元件的精確、高產光刻工藝。它也被用於生產其他納米結構和納米級器件。機械由掃描臺、機械組件、光學成像設備和輔助設備組成。掃描級由X軸和Y軸兩個正交運動軸組成。這樣可以將掩碼精確定位在光學視場中。機械組件的設計目的是確保尺寸精度、平整度和面罩水平的最佳機械公差。這對於達到盡可能高的平版印刷吞吐量至關重要。QUINTEL Q 4000的光學成像系統提供極高解析度的成像,放大倍率高達10X。合並的折射光學器件旨在最大限度地減少像差、散光和漸變,以便在整個視場中實現非常均勻的成像。掩模對準器的輔助組件包括顯微鏡、自動晶圓處理單元和特定於過程的模塊。顯微鏡為手動對準操作提供了極好的分辨率和精度。自動晶圓處理機便於統一處理,汙染風險最小。可將特定於工藝的模塊添加到用於定制機器的工具中,以滿足特定光刻任務的要求。總體而言,Q-4000是一種先進的掩模對準器,用於晶圓級生產需要精確光刻的元件。它提供出色的分辨率、平整度和尺寸精確的處理,以及自動晶圓處理和可定制的特定於過程的模塊。這使機器能夠生產高通量、高產量的優質微量和納米級元件。
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