二手 QUINTEL Q4000 #9375020 待售
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QUINTEL Q4000是一種高度先進的掩模對準設備,用於各種先進的光刻工藝。它旨在支持MEMS制造過程中的多個步驟,包括光刻膠烘烤、光掩模制作、晶圓制備、蝕刻和後工藝清洗。QUINTEL Q 4000旨在讓使用者在各種基板上製造MEMS時,達到極精確且可重複的對準與對準精度,以及卓越的吞吐量與精確度。Q-4000易於使用的軟件允許為復雜的MEMS結構設計復雜的光掩碼,如波導、集成電路和模具。此外,該軟件的設計旨在優化復雜MEMS結構的吞吐量,簡化生產流程。QUINTEL Q-4000的定位精度由其0.5微米對準精度的高度先進的定位系統實現,並通過修改實現亞微米精度。它具有較大的視野,X-Y行程範圍可達40毫米乘40毫米,Z行程範圍可達8毫米。再者,它配備了包含0.2毫米聚焦精度的先進自動對焦單元。為了實現快速吞吐量,Q4000采用三區設計,中心有兩個6英寸區域,兩個3.5英寸區域可以調整以提高分辨率。不同的區域可用於為每個晶圓創建多個掩碼,從而為大規模生產提供卓越的吞吐量和成本節約。它還配備了快速對齊機,用於快速掃描、設置和對齊。最後,Q 4000被設計為可擴展和可升級的,其可選的軟件模塊為工具添加了功能。它與多個CAD平臺兼容,可以快速集成到任何生產環境中。QUINTEL Q4000還被設計為經濟高效,操作效率高,停機時間短。對於在制造MEMS元件時要求精度和可靠性的制造商來說,這是一個絕佳的選擇。
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