二手 ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000 #9383425 待售

ID: 9383425
Inspection system.
ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備,用於對半導體及相關行業中使用的薄膜、金屬、絕緣材料及其他基材材料進行高精度的測量。IR3000可以對厚膜層或薄膜層進行接觸和非接觸測量,並可以對包括圓形和橢圓形在內的各種幾何形狀進行測量。ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000采用集成的自動化晶片和樣品處理系統,配有高分辨率顯微鏡和過程控制單元,可提供全自動檢查過程。其簡化的軟件界面支持手動和自動化操作,並包括校準、數據采集、數據分析和報告等操作功能。IR3000還提供各種自動化測量功能,包括厚度、反射率、電阻率和波前誤差的光學測量。AMS ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000配備了高精度的自動對焦光學器件,可精確測量每μ米特征尺寸的6個粒子。該單元能夠準確、重復地測量最小的特征。其精密的光學機器還提供了強大的分析能力,用於測量諸如discretes和vias等局部特征。IR3000采用了一種高功率激光成像工具,可以檢測和成像140 nm及更大範圍材料陣列的缺陷。它的高級成像功能使用戶能夠放大到實時(或實時的)原子結構圖像中,從而在微觀尺度上提供前所未有的細節。ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000旨在在清潔和受汙染的環境中提供一致的性能。其堅固的設計在惡劣的環境條件下提供了卓越的性能,並保證了所有測試中的最高質量結果。它的動態計量能力包括測量和量化不對齊的能力、比例良好的地形以及極精確的輪廓測量。作為一種通用可靠的工具,AMS IR3000是實驗室、研發機構和要求在微電子元件和設備的研究和生產中進行精確、可重復測量的公司的理想選擇。ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS)通過提供對多種材料的高精度測量和對微觀特征的綜合分析能力,IR3000是對半導體元件進行嚴格分析和質量控制的絕佳選擇。
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