二手 BROWN & SHARPE 4.5.4 SF #9286760 待售
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ID: 9286760
Coordinate Measuring Machine (CMM)
Envelope size: 700 x 1000 x 700 mm
Accuracy: 3.0+3.01/1000.
BROWN&SHARPE 4.5.4 SF是一種自動化的掩模和晶片檢測設備,設計用於快速準確地檢測生產掩模和晶片的缺陷。它使用了幾種技術來快速檢查IC晶片和掩模的兩側,包括模模對模具、面積矢量映射、雙面模版印刷和通孔橫截面分析。該系統使單個技術人員能夠同時執行多個功能,並且可以輕松適應不同的產品需求。該單元的雙面模版打印功能自動檢測原始設計圖樣和堆疊在實際蒙版上的圖樣之間的差異。然後使用此信息對掩碼的物理特性進行驗證。機器使用聚氨酯的雙面層壓與丙烯酸染色一起在口罩支架上形成均勻的口罩。然後可以識別蒙版上存在的任何缺陷。在晶圓檢測中,該工具采用了區域矢量映射技術。這項技術允許晶圓兩側的模模數據自動映射。晶圓兩側的劃定是基於映射數據,主要用於檢測晶圓上的缺陷。資產的穿孔橫截面分析功能使用微觀圖像來搜索晶圓接觸手指之間的互連間隙中的缺陷。攝像機用於掃描每個接觸手指並測量間隙寬度,以幫助檢測微小的缺陷。BROWN&SHARPE 4.5.4 SF模型能夠在傳統系統的一小部分時間內執行晶圓和掩模檢查。它設計用於快速設置和操作,允許單個技術人員同時操作多個功能。此外,設備易於調節,以適應各種工藝要求。這使得它非常適合那些希望在執行掩碼和晶片檢查時節省時間和提高可靠性的人。
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