二手 BROWN & SHARPE MicroXcel PFX 454 #9390272 待售
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BROWN&SHARPE MicroXcel PFX 454是一種最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統可在特征尺寸的關鍵級別對掩模和晶片缺陷進行最佳檢查。它有一個3英寸的光柵/掩模檢查組(RIS)和一個5英寸的晶圓檢查機(WIS),視場可達75毫米。此外,該工具利用內置模式識別、專利熱致發光和缺陷分類算法,給出了高度準確的檢測和分類結果。此外,還可以配置具有濕式和幹式苛刻檢查功能的資產。MicroXcel PFX 454使技術人員和操作員能夠捕獲整個口罩、鏡頭到鏡頭以及單個模具的極其清晰的圖像。該模型還提供了對先前檢查過的晶片和掩模的自動重新檢查,以確保正確性。此外,它能夠每小時檢查多達150個晶圓,並且一次最多可以重新檢查發現的30個缺陷。這為在生產環境中測試和檢查掩模和晶片提供了一種高效、準確的方法。BROWN&SHARPE MicroXcel PFX 454是管理和執行檢驗面罩和晶圓檢驗的有效工具。它支持高NA(數字孔徑)和低光照水平,提供最佳分辨率和對比度,並且易於針對不同類型的產品進行校準。該設備具有卓越的精度,能夠檢測到18納米以下特征尺寸的缺陷。該系統的多功能性使其成為大批量和小批量生產環境的理想選擇。
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