二手 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397355 待售

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300是一種先進的自動化掩模和晶圓檢測設備，用於半導體器件的高分辨率成像、測量和分析。它具有多反射光學器件和高性能傳感器的獨特組合，能夠對構成掩模和晶片的錯綜復雜的圖案進行詳細而準確的檢查。該系統包含一個集成的光學傳輸單元，高數值孔徑（NA）為0.5，具有模塊化變焦，可以用來容納各種尺寸的晶片。HSEB提供的視野可以從0.2毫米到1.2毫米不等,並且能夠捕獲和測量最小的結構,最小的結構可達0.5 μ m。它能夠在亮場和暗場成像模式下成像，並配備了多站點掃描的自動化階段。CARL ZEISS的成像子系統使用高分辨率CCD相機來捕捉12位動態範圍的圖像。它擁有一個由平面熒光照明器、單色器和集成激光二極管組成的精密光源。該光源用於創建多通道圖像，以及具有四種不同激發波長的多波長成像。該機器提供了多種圖像處理工具，包括傅立葉變換、二進制濾波器、形態濾波器和圖像分割。這些特性使得區分諸如粒子缺陷、線條甚至受阻圖像等特征變得容易，包括晶圓上單層內的缺陷甚至兩層之間的缺陷。CARL ZEISS/HSEB還提供了廣泛的靈活測量選項,例如線寬測量、叠加計算或長寬比評估。它還配備了一個自動缺陷分類器和一個審查站，簡化了檢查過程。最後,集成數據庫允許自動存儲結果以供將來分析。總體而言，HSEB Axiospect 300是一種先進和通用的掩模和晶圓檢查工具，提供高分辨率成像、測量和復雜圖像分析的組合；非常適合半導體器件的檢測、研發。