二手 CARL ZEISS MeRit HR32 Plus #9254285 待售

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ID: 9254285
優質的: 2011
Mask repair system CIM: SECS / GEM SMIF 2011 vintage.
CARL ZEISS MeRit HR32 Plus是一款采用創新技術進行晶瑩剔透缺陷表征的面罩和晶圓檢測設備。該系統的工作原理是跟蹤面罩和晶片上的小而重要的特征,以便檢測任何缺陷。MeRit HR32 Plus利用多個單獨的光源投射不同的結構光模式。這一單元設計緊湊,占用的空間極少,但仍提供強大和可靠的性能。當光照到掩模/晶片時,每個光源會創建兩條垂直的線性曲線。光線通過後仍然可見的任何缺陷都被光源圖像照亮,進行實時分析。為了保證結果的準確性,檢驗過程采用了自動對焦深度控制和三維計量機。這些功能結合起來,使用戶能夠自動控制焦點並測量掩碼/晶片的3D曲面輪廓。這樣就無需手動調整成像光學器件。此工具提供的軟件易於使用,並包含一些有助於簡化檢查過程的功能。其中包括:集成的報告生成器、全面的缺陷數據庫和直觀的圖形用戶界面(GUI)。利用這些功能,用戶可以快速診斷任何缺陷並訪問檢查期間收集的所有數據。CARL ZEISS MeRit HR32 Plus是光刻領域計量應用的理想選擇。它是高分辨率檢測、3D缺陷成像、高精度掩模對準測量的理想選擇。該資產能夠快速檢測到肉眼看不到的非均勻性和缺陷。憑借出色的準確性和可靠的性能,MeRit HR32 Plus是每個計量應用程序的理想伴侶。
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