二手 HERMES MICROVISION / HMI eP3 XP #9309099 待售

HERMES MICROVISION / HMI eP3 XP
ID: 9309099
晶圓大小: 12"
E-Beam inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eP3 XP是一種高精度的掩模和晶圓檢測設備,旨在為半導體微電子和納米電子制造中的先進工藝控制和屈服優化提供全面、經濟高效的解決方案。它能夠檢測單層和多層掩碼以及標準和高效晶片上的缺陷。HMI eP3 XP具有覆蓋整個示例的小視場(FOV)集合。這確保了掩模和晶片檢驗的視野適合制造過程的所有階段。該系統配備了兩個集成的CCD攝像機-一個用於不可見光照明,一個用於可見光照明,以提供整個樣品的全光覆蓋。它還具有一個圖像預處理引擎來過濾出背景噪聲並減少陰影效果,以及模式識別軟件來檢測最優缺陷到亞微米級。該單元設計用於處理多種基板,包括矽、藍寶石、石英和多晶矽。它以自動精度檢查一系列曲面,包括平整、彎曲和3D。HERMES MICROVISION eP3 XP能夠快速、精確地檢查口罩、晶片和基板,而無需人工幹預。它提供了可靠和一致的結果,並且其先進的光學和圖像處理算法保護了最大的工藝產量,減少了代價高昂的錯誤和報廢。該機器還包括易於使用的軟件,設計用於自動化數據分析和報告。EP3 XP可與企業軟件系統和數據服務器集成,以方便高效傳輸檢查結果。它包括站點映射、示例地圖和模式跟蹤等高級功能,並支持多種語言。HERMES MICROVISION/HMI eP3 XP是一種高度可靠和高效的掩模和晶圓檢測工具,占地面積最小。它可以處理大的樣本量和復雜的布局,具有一致的精度和精確度,而直觀的控制使得它易於操作。其特點和性能使其成為尋求先進質量保證和工藝優化的半導體制造商的合適選擇。
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