二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 310 #9281449 待售

ID: 9281449
晶圓大小: 8"-12"
E-Beam defect inspection system, 8"-12" FOUP, 12" SMIF, 8" Transfer unit Chamber room Powerbox Power processor Loader.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 310是一種蒙版和晶片檢查設備,設計用於提供精確、高速、高分辨率的晶片和蒙版成像。它專為3 D計量、缺陷檢測和監測光掩模、標線、微電子離散元件和MEMS器件的制造而設計。HMI eScan 310配備了具有高分辨率成像能力和卓越通用性的先進顯微鏡技術。其獨特的光學和智能成像軟件旨在制作高分辨率和低噪聲的3D圖像。它可以達到5 nm的臨界分辨率,提供復雜幾何形狀和高密度陣列的全面視圖。該系統還配備了先進的光束控制和超逼真的圖像序列,允許對表面及其細節進行完整的3D成像。其高速的數據采集和加速的圖像處理能力使圖像分析更加容易和準確。此外,HERMES MICROVISION eScan 310還具有寬域單元、本機集成的CAD工具、直觀的3D查看器以及全面的自動化功能,以簡化檢查過程。它的雙照相機檢查可以與單照相機結合進行全場檢查,即使是最小的特性也能實現全覆蓋捕獲。該工具還提供了高級算法來定位不同材料中的缺陷、檢測磨損程度、亮度均勻性、亞像素分辨率變化以及其他基板參數。它還支持各種掩碼格式,包括正弦徑向、共面和六邊形設計。此外,eScan 310還提供了一個交互式用戶界面,供用戶查看、比較、分析和報告結果。它還提供了多個數據集,可以隨時間進行比較,從而確保缺陷檢測的準確性。總體而言,HERMES MICROVISION/HMI eScan 310是一種先進的掩碼和晶圓檢測資產,可提供高速、高分辨率成像。它能夠檢測各種材料中的缺陷,並具有強大的功能,如本機集成的CAD工具、自動數據采集、高級算法和直觀的3D查看器。而且,該模型提供了一套全面的功能,使用戶的檢查過程更容易、更快。
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