二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp #293595412 待售

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ID: 293595412
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
E-Beam inspection system, 12" Robot handler (2) FOUPs EV-S20P Dry pump CIM: SECS / GEM Operating system: Windows XP E-gun non-functional 2011 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 315xp是一款功能強大、先進的掩模和晶圓檢測設備,旨在為小型半導體元件提供自動化、高精度的光學檢測。該系統具有許多功能,包括高達10 nm的全幀成像分辨率、卓越的圖像采集和圖像分析能力、超快的樣本掃描時間以及幾種高級軟件工具和選項。HMI eScan 315 xp利用了最先進的光學單元,由190納米深紫外線光源、顯微鏡物鏡和高分辨率數碼相機組成。該機器的超靈敏光學工具提供卓越的成像性能,可對10 nm以下的結構進行高精度成像。資產先進的成像算法提供高速圖像捕獲和分析以及卓越的圖像對比度,使其非常適合一系列晶圓檢查和打印線識別需求。HERMES MICROVISION eScan 315 xp還附帶了一套自動化軟件工具。這些包括先進的面罩檢查、基板檢查和缺陷檢測工具。掩模檢查工具允許快速和自動檢測光掩模圖樣中的缺陷,而基板檢查工具允許對光刻基板中的關鍵缺陷進行精確的板載檢測。該模型的缺陷檢測工具可用於識別薄膜層和矽層的屈服臨界缺陷,並可提供晶圓特異性缺陷覆蓋的詳細分析和報告。該設備還具有一系列內置功能。這些包括可編程掃描速率、敏感數據歸檔和系統範圍的錯誤處理。高級掃描速率功能可加快掃描速度,而數據歸檔功能可確保所獲取的圖像數據能夠安全存儲。該設備的錯誤處理系統使其非常適合用於關鍵任務應用程序,提供了針對潛在災難性事件的故障安全保護。EScan 315 xp是一款功能強大且用途廣泛的面罩和晶圓檢測機,專為在一系列應用中的卓越性能而設計。它結合了光學精度、成像性能、先進的軟件工具和有用的功能,使其成為半導體元件檢查和測試的寶貴工具。
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