二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #293641226 待售

ID: 293641226
晶圓大小: 12"
E-Beam inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一款功能強大的掩模和晶圓檢測設備,可提供精確、高速的光掩模和晶圓邊緣圖像檢測。它提供了卓越的準確性和可靠的檢查結果,並提供了最小的停機時間和最小的維護。HMI eScan 320配備了一個18MP電荷耦合器件(CCD)傳感器,能夠掃描最多8 µm的掩模表面。它包括強大的處理軟件和自動攝像機對準系統,確保攝像機的精確定位和成像傳感器的精確對準。HERMES MICROVISION eScan 320具有廣泛的照明類型,可用於檢查標準和定制口罩。這包括頂視圖、側視圖和底視圖照明。它還提供多種圖像捕獲模式,如EWA(增強晶圓對齊方式)模式和全掩碼對齊模式。此外,它還具有用於檢查高分辨率和低分辨率晶片的先進光學器件。EScan 320具有多種功能,可實現準確、可重復的掩碼檢查結果。其中包括高度敏感的相機、獲得專利的Multi-Pattern Wavefront成像技術、自動對焦單元和先進的處理軟件。這些功能使HERMES MICROVISION/HMI eScan 320能夠檢測小到2微米的小缺陷,同時提供最大的準確性和可重復性。而且,HMI eScan 320具有獨特的自動化缺陷識別機,能夠生成晶圓或掩碼上的顆粒和劃痕等重要缺陷的完整缺陷圖像。然後使用這些圖像來比較和分析缺陷,幫助確定缺陷的原因和適當的糾正措施。最後,HERMES MICROVISION eScan 320是一種人性化的檢查工具,操作和維護簡單。它包括直觀的圖形用戶界面(GUI)和易於學習和使用的用戶友好軟件,使資產易於適應不同的應用程序和任務。此外,eScan 320還可以進行升級以適應新技術,使其能夠通過行業標準的掩碼和晶圓檢查過程保持最新狀態。
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