二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9171729 待售
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已售出
ID: 9171729
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
E-Beam defect inspection and review system, 12"
Integrated front-end
Dual pod FOUP, 12"
(2) High quality flat panel displays
GUI / Image computer XEON dual CPU 3.2GHZ, 2GB memory
Host computer Pentium IV 3.2 GHZ, 2GB memory
DBDB (Detection baseon design base) function
E-Chuck wafer holder
Active damping
TFE Electron beam emission source sub-system
Electron optics column sub-system
HV Power sub system
Programmable wafer biasing & charge balance control
SE and BSE high speed detection
2012 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一種完全集成的掩模和晶片檢測設備,旨在有效檢測晶片和掩模上的缺陷和其他不規則性。該系統能夠執行二維和五維成像,每像素可測量高達17微米,分辨率高達32納米,並具有改進的功能。使用先進的成像技術,HMI eScan 320能夠自動掃描和檢測各種掩模和晶片之間的微小缺陷和大規模差異,無論其材料尺寸或最佳尺寸如何。該單元利用動態成像技術快速獲取和精確比較圖像，以檢測任何可能影響芯片連續性或質量的不規則性。此外，HERMES MICROVISION eScan 320由於提高了速度和覆蓋範圍，能夠在大面積地區進行高級缺陷分析。此高級分析包括各種類型缺陷的各向同性分析，如大線缺陷、三葉形缺陷、多邊形缺陷和螺距缺陷。它還包括局部缺陷成像的微小直徑孔，門距離方差，和短褲。EScan 320在低功耗模式下運行,能夠對大面積進行高速檢查,同時降低功耗。這臺便攜式臺式機器的設計便於運輸和操作。該工具還配備了一個內置的資產主管來監控模型性能和維護活動。HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一款功能強大、經濟高效的掩模和晶圓檢測設備,可檢測和分析各種材料中的各種缺陷。HMI eScan 320憑借其先進的成像技術、高精度和低功耗,是制造商希望優化其掩模和晶圓檢測過程的完美工具。
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