二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9378991 待售

ID: 9378991
E-Beam inspection system, 12" 2011 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320是一種蒙版和晶片檢查設備,設計用於檢查半導體晶片和蒙版的各種屬性。系統使用兩種不同類型的顯微鏡組合,一種是白光源,另一種是成像相機。HMI eScan 320采用標準的光場光學顯微鏡,具有各種可用的目標,包括空氣和浸油,允許用戶檢查微米級以下的區域。對於大規模的研究和生產應用,五軸電動級允許目標以亞微米精度在x、y、z軸移動。從10 x到200 x的各種放大倍數設置允許檢查功能的最大靈活性。HERMES MICROVISION eScan 320的數字成像功能由先進的蔡司AxioCam ICMS數碼相機提供,能夠以高達1600倍的放大倍率捕捉圖像。相機配備快速14位電荷耦合器件(CCD),全畫幅速率高達36圖像/秒,提供出色的圖像清晰度和細節。支持顏色和單色驗證模式。此外,可以將外部彩色監視器連接到照相機以查看彩色圖像。該單元還具有高強度LED白色光源,允許在整個視野中保持一致的照明。LED光源的強度是可變的,可提供寬視角和低熱變化,從而實現最佳圖像。EScan 320是一種集成檢測機,提供卓越的圖像質量和精確性能。該工具能夠放大、記錄和成像高度詳細的掩模和晶片,為需要卓越檢查能力的生產和研究應用提供了理想的解決方案。
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