二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 400 #9263048 待售

HERMES MICROVISION / HMI eScan 400
ID: 9263048
晶圓大小: 12"
E-Beam defect inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 400是一個最先進的掃描掩模和晶片檢查系統,設計用於半導體晶片和光掩模的自動檢查。HMI eScan 400系統由微觀成像子系統、自動標本級、模式匹配軟件、晶片加載子系統和多個數據存儲子系統組成。顯微成像子系統由高分辨率電荷耦合器件(CCD)相機和物鏡組成。此子系統以卓越的清晰度和清晰度捕獲晶片和掩碼的精確、高分辨率圖像。自動標本級是計算機控制的XYZ級,用於精確對準晶圓或掩模,然後以精確的方式在成像區域中移動。這樣可以確保組件的精確和可重復成像。模式匹配軟件用於自動將捕獲的圖像與數字模型或參考設計進行比較。然後,它將查明實際元件與模型設計之間可能存在的任何差異。晶片加載子系統能夠快速連續成像多個晶片,從而減少了掃描大量組件所需的時間。數據存儲子系統允許捕獲、存儲和檢索成像數據。然後,此數據可用於記錄組件更改或問題,從而能夠快速高效地采取糾正措施。最後,HERMES MICROVISION eScan 400是一種先進的掃描掩模和晶片檢測系統,可提供可靠、準確的晶片和光掩模成像。其自動化的XYZ階段、模式匹配軟件、晶片加載器和數據存儲子系統提供了半導體制造商為質量控制目的所需要的速度、準確性和可重復性。
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