二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 405 #9244052 待售

HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是一種全自動掩模和晶圓檢驗設備，用於檢查光刻工藝中使用的半導體掩模。該系統便於從四個角度進行檢查,包括透射率、吸收率和反射檢查以及自動缺陷定位。這個單元可以在幾分鐘內檢查16M的蒙版圖像，以高精度、驚人的速度加速整個過程。HMI eScan 405包括一臺高性能光學機器,包括10 X和20X目標、8英寸顯示器和真空遮罩卡盤,使其能夠從遮罩功能獲取UV光圖像,且精確度極高。該工具利用內置校準機制和先進的自動聚焦算法,精確地捕捉有效像素大小為340 x 510 nm的高分辨率圖像。HERMES MICROVISION eScan 405中掩模/晶片的檢查過程從掩模對準開始。然後使用一對LED照明單元獲取掩模的圖像。在此過程中，掩碼的邊緣是對焦的，使用高級圖像算法對原始圖像進行數字化和分析。在圖像中快速檢測到各種缺陷和遮罩長寬比異常，以準確的結果快速完成檢測過程。對於晶圓檢查，資產配備了一個旋轉級，以高精度連續掃描多個站點。在采購過程之後,集成軟件包有助於檢測和繪制缺陷。此方法不同於典型的手動過程,因為此模型可以在人工操作員花費的一小部分時間內有效地分析掩碼/晶圓圖像。此外，該設備還具有條形碼形式的聚合晶片圖像，可用於跟蹤相關產品的過程和跟蹤晶片的驗證歷史。EScan 405系統還具有高吞吐量程序。該單元允許用戶預選晶片/掩碼區域,可以更快地檢查這些區域,從而節省了傳統檢查方法（如Sub-Field Verification （SFV）所需的時間。該機還提供半導體器件的自動高分辨率光學顯微鏡觀測。HERMES MICROVISION/HMI eScan 405是檢查和檢測掩模和晶圓圖像中各種缺陷的寶貴工具。保證了高速、準確性和質量,使HMI eScan 405成為半導體應用的理想選擇。