二手 HERMES MICROVISION / HMI eScan 500 #9316140 待售

ID: 9316140
晶圓大小: 12"
優質的: 2014
E-Beam inspection system, 12" 2014 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 500是一種高分辨率的掩模和晶圓檢測設備,利用激光掃描檢測和測量半導體材料上的缺陷。HMI eScan 500具有廣泛的曝光範圍、大視野和高靈敏度,所有這些都經過優化,可以檢測半導體器件表面上的最小缺陷。HERMES MICROVISION eScan 500是一個先進的系統,由精密的光學微成像設置、快速掃描階段和光學穩定的固態圖像檢測器組成。光學裝置由高分辨率的遠心光學元件組成,具有可調的數值孔徑和fieldStop孔徑。這種布置確保了無論樣品位置如何,圖像總是被銳利地聚焦在探測器上。快速掃描階段允許有一個寬廣的視野,以最小的重新定位和基板對齊時間覆蓋整個樣本。該探測器是一個3200萬像素的背光CMOS傳感器,它通過各種光學濾光片捕獲高靈敏度的大場圖像。eScan 500的收購速度尤其令人印象深刻;單位每秒最多可掃描100萬像素。這使得它能夠以可靠和及時的方式檢查給定樣本的每一個區域。HERMES MICROVISION/HMI eScan 500還提供亮度、對比度、縮放、聚焦和掃描分辨率等可編程參數設置。這樣可以確保產生最原始的圖像,以便每次精確地確定缺陷大小和進行分析。除了高性能外,HMI eScan 500也具有性價比。這臺機器的低成本確保了它是小型芯片制造商的一個有吸引力的選擇,因為這些制造商缺乏購買大型昂貴系統的預算。此外,該工具具有極好的易用性,幾乎不需要維護。總體而言,HERMES MICROVISION eScan 500是一款極好的掩模和晶圓檢驗資產,價格劃算。eScan 500具有廣闊的視野、快速的掃描速度和強大的缺陷檢測能力,能夠以最低的工作量和成本可靠地檢測半導體材料上的最小缺陷。
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