二手 KLA / TENCOR 0116358-001-REV A #293649651 待售

KLA/TENCOR 0116358-001-REV A 'Mask&Wafer Inspection'設備是一種晶圓和標線檢測系統,具有雙攝像頭光學元件,像素大小為（20 µm）,可提供業界領先的計量結果。該單元由多個組件組成，包括高放大倍率彩色相機、高動態範圍（HDR）成像機、具有高速運動的采樣臺以及各種專用軟件程序。高倍率彩色相機允許對無圖案和圖案的晶圓表面和缺陷進行詳細的檢查和分析。此外,相機還提供高分辨率圖像,可以對孤立的缺陷進行定量分析以及自動邊緣檢測。高動態範圍成像工具可提高對缺陷的靈敏度,從而實現更詳細的分析。此資產旨在借助各種專門算法識別邊緣細節和本地特征,從而更好地了解半導體制造過程中的故障。樣品級提供了一系列高速運動，可以快速準確地檢查大量晶片。采樣級的每個段都由兩個直線電動機組成，提供極快而精確的運動。除了KLA 0116358-001-REV A的硬件外，還有各種專門的軟件程序設計，提供完整的計量結果。軟件包括缺陷審查分類、缺陷檢測、模模映射、晶圓測量、圖像分析等系統。此外,自動化算法還可以有效、準確地生成晶圓圖,同時減少時間和成本。總體而言,TENCOR 0116358-001-REV A「掩模和晶圓檢查」模型旨在提供高分辨率、準確的測量,同時減少周期時間和成本。其強大的功能和專門的軟件提供了完整的計量結果，提供了對半導體制造過程故障的全面了解。