二手 KLA / TENCOR 2 XX #9009649 待售

KLA/TENCOR 2 XX是一種掩模和晶片檢查設備,針對大中型生產進行了優化,旨在最大程度地降低擁有成本,同時在各種應用程序中提供最高精度。創新的設計將缺陷檢測、自動缺陷分類和審核能力結合為一個完整的工具。KLA 2 XX系統提供高精度的高速缺陷檢測,放大倍數可達70倍,可解決缺陷類型,包括線寬、顆粒/汙染、橋梁和開放缺陷。特定於應用程序的圖像采集和特征提取算法保證質量結果無論材料被檢查，而M-Vision粒子/汙染分析包通過形態區分粒子和背景。TENCOR 2XX單元具有自動輪廓分析和異常值刪除策略,可用於處理線寬和網橋缺陷的真實缺陷表征,是生成缺陷參考數據的理想工具。此外,采用10倍輪廓、84倍PEM縮放和自動缺陷識別技術,對缺陷進行了準確分類,以便更好地跟蹤和提高產量。這臺機器的高吞吐量和精確度得到了用戶友好的集成軟件界面的支持,該界面能夠每小時分析多達500個晶圓。此外,其他軟件包還提供了其他功能,如應力和失真分析、地形識別和缺陷級別測量。內置冗余和可靠性功能確保2XX工具運行平穩,並保持長期性能,而基於網絡的資產體系結構確保所有數據都能在全球生產設施之間共享。該型號配有一個全球支持網絡,並根據用戶的應用程序提供各種選項、升級和附件。