二手 KLA / TENCOR 201 #293635802 待售

KLA/TENCOR 201是一種用於掩模和晶圓制造的自動化檢驗設備。用於確保光刻等工藝中使用的口罩無缺陷。該系統由掩模檢測站（MIS）和晶圓檢測站（WIS）兩部分組成。MIS設計用於檢查2面或2層掩模的多達4-8個平面高分辨率光場。MIS用於檢測光掩模圖樣中具有非常高靈敏度的缺陷，允許完全缺陷覆蓋。它能夠分析各種過程引起的缺陷，並提供精確的缺陷坐標測量。機器會自動識別不同的模具尺寸,並接受各種口罩。WIS最多可檢查4英寸或6英寸晶圓的8個平面高分辨率光場。它提供準確的缺陷檢測,而不會丟失任何缺陷。這臺機器提供了內部和周邊缺陷的覆蓋範圍，通過/故障確定和詳細的缺陷圖。WIS還允許光學簽名識別,這是檢測過程殘差、結構缺陷和其他生產問題的有效工具。KLA 201能夠在100類清潔室環境中運行,並附帶用戶友好軟件,允許從任何PC進行遠程訪問。該單元提供對整個過程和監控周期的全面控制，並支持多種語言。總體而言,TENCOR 201是一種可靠、高效的掩模晶片檢測機.本文設計用於檢測不同類型的缺陷，具有較高的可靠性和精確的缺陷測量。該工具適用於半導體制造、掩模和晶圓制造等相關行業。