二手 KLA / TENCOR 201 #293647441 待售

KLA/TENCOR 201'掩模和晶片檢驗'設備是一個高度先進的工業系統，有助於檢查掩模和晶片上的圖樣。該單元配備了一系列特征，用於檢查模式的保真度及其結構完整性。KLA 201機器使用三鏡成像子系統，能夠在各級檢查中實現高質量成像，提供所需的準確性。高度先進的光學工具收集明場和暗場圖像信息，然後收集和存儲這些信息。然後將提取的數據轉化為一組圖像和地圖，以揭示對所調查的結構表面及其側壁的詳細統計分析。此外,內置專利的Measurement Commander軟件可以自動進行高精度廣域計量和檢驗測量,捕獲兩個級別的計量數據。第一層包括表層厚度、平整度和重叠圖樣或線密度；而在面罩圖樣邊緣上工作的第二個則涉及側壁厚度、線形和橫截面面積。TENCOR 201資產的檢查能力通過允許縮短學習曲線的可變作業設置得到進一步增強。它使用現有的數據庫來執行各種測試任務,如叠加、寬度和金屬線缺陷,從而使檢查運行速度更快,準確性更高。201具有最先進的環境控制檢查系統之一,可通過減輕振動和其他環境影響來提高圖像質量。此外，KLA/TENCOR 201在條件條件下，即使在高溫和極端濕度下也是可靠的。這使它具有極高的準確性和對結果的信心,這對於制造過程至關重要。總體而言，KLA 201模型是一種為制造目的檢查口罩和晶片圖樣的創新和高效方法。該設備裝有使其成為面罩和晶片檢查的工業系統的特性。