二手 KLA / TENCOR 2111 #293642296 待售

KLA/TENCOR 2111是一種精密的掩模和晶片檢測設備，設計用於快速篩選光掩模和晶片。利用全場區域掃描檢測光掩模設計和光刻工藝層中的關鍵缺陷，使其成為掩模、晶圓制造和工藝控制的理想選擇。KLA 2111配備了一個高分辨率的數字成像系統，在整個視場上捕獲圖像數據。然後通過算法校正和模式識別的高級光陣列處理這些數據，以識別缺陷。除圖像分析外，該裝置還具有一個鉸接顯微鏡，能夠對關鍵缺陷進行微創。該機器能夠檢查任何厚度的層,並且可以檢查尺寸最大為4.20英寸（10.6厘米）的層。它能夠檢測和測量8到809 µm的圖樣，可檢測到5 µm的細微特征。此外，它還具有0.5微米的細線分辨率，用於先進的掩模和晶圓缺陷檢測。TENCOR 2111還配備了直觀的軟件，便於導航和全面的結果分析。這種直觀的軟件確保了掩模和晶圓質量控制過程的準確性和可靠性。軟件還允許在工廠的多個區域中存儲和共享數據,這有助於最大限度地減少缺陷分析和報告所需的時間。該儀器用途廣泛，可以多角度執行幾種不同的檢查類型，包括光源和暗場，以檢測可能導致生產嚴重延誤的缺陷。它還提供了高精度和可重復性，在檢查的表面數據，和質量標準認證方面。此外,它還能夠檢測封閉模式、開放模式和多層模式。2111是口罩和晶圓制造及過程控制的理想工具,提供高質量的結果和易於使用的軟件。該資產具有廣泛的應用，使其適合各種高端光刻工藝。