二手 KLA / TENCOR 2111 #9082266 待售

KLA/TENCOR 2111是KLA Corporation的一款前沿掩模和晶圓檢測設備，使用投影光學器件檢測高度密集集成電路上的缺陷。該系統采用先進的計算技術來提供無與倫比的精度來檢測掩模和晶片層上的缺陷。該裝置采用180W超短脈沖激光器和專利ProScanIA™微光頭，以獲取晶圓和掩模表面的高分辨率2D覆蓋層。它的5X投影光學器件為晶圓和掩模表面創建了高度精確的自上而下的圖像，以極高的精度揭示了缺陷。KLA 2111還具有高速圖像采集機，該機捕獲蒙面圖像和未蒙面圖像，並執行大量圖像處理算法。這些算法能夠在單個檢查周期中檢測和分類有模式的缺陷,這一特性大大縮短了檢查時間並提高了產量。該工具包括專有軟件,可幫助客戶驗證和評估其缺陷檢查結果。該軟件支持一系列定量指標，使用戶能夠表征其設備結構。為了便於使用,TENCOR 2111還具有高級圖形用戶界面（GUI）。此GUI允許用戶快速生成帶有高級摘要的自定義報告,而無需犧牲深入的數據分析。2111結合高分辨率光學、先進的圖像處理能力和直觀的GUI，創造了無與倫比的掩模和晶圓檢測資產。此模型提供了難以置信的詳細2D分析,非常適合識別和量化掩蔽缺陷和未掩蔽缺陷。它是半導體制造商和工程師尋求在產品設計生命周期早期實現產量最大化和發現關鍵問題的理想工具。