二手 KLA / TENCOR 2111 #9410122 待售
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KLA/TENCOR 2111是一種高性能、高分辨率的掩模和晶圓檢測設備，可以在高速下提供準確、可重復的結果。該系統旨在檢測和分析各種與過程相關的缺陷，包括線和空間誤差、粒子濃度、設計幾何誤差和亞微米模式缺陷。KLA 2111配備了先進的雙波長激光檢測單元，可實現高分辨率和高速缺陷檢測。它還具有很大的視野，可以檢查多達77mm的基板區域。該機器具有許多可配置的處理參數,允許用戶根據自己的特定需求自定義掩碼和晶片檢查過程。該工具的核心是圖像和模式識別軟件。該軟件配合資產的雙波長激光檢測模型，準確檢測和測量不同工藝相關缺陷的大小、形狀和對比度。該軟件還可以選擇配置一些其他參數，包括自動填充誤報對象和對缺陷填充的統計分析。設備還配備了直觀、用戶友好的界面。它具有圖形用戶界面（GUI）,允許用戶快速輕松地測量和監視與流程相關的缺陷。這樣可以方便地監視、報告和分析與過程相關的缺陷,以及根據用戶的確切需求自定義檢查過程。TENCOR 2111是為工業和研究應用而設計的高性能、高分辨率的掩模和晶圓檢測系統。它提供了精確和可重復的高速結果，使其成為在半導體生產、微電子和微機電系統（MEMS）中應用的理想選擇。其先進的檢測單元、直觀的GUI和可配置的處理參數使其成為半導體行業中功能強大且可靠的工具。
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