二手 KLA / TENCOR 2111 #9410123 待售

KLA/TENCOR 2111是一種用於測量和監測各種基板表面質量的掩模和晶圓檢驗設備。該系統能夠進行高分辨率、快速和準確的測試，提供納米級的結果。它是生產環境的完美工具,可提高產量和降低成本。KLA 2111使用雙列設計進行真正的圖像縫合，結合線性電動機和編碼器單元，使循環時間在5 s以下。目前,計算機上可用的最高分辨率為3.1nm。該工具還具有一個可擴展的30位自動化組件,可以在安裝後使用其他框架進行升級。資產具有一系列不同的檢查技術,以確保最準確的結果。這些包括光學和電氣、缺陷檢查和制圖、空中成像和掃描電子顯微鏡。根據尺寸、位置和圖像對比度識別和隔離缺陷。該模型還提供了先進的數據校正和掩碼校正設備，以及為晶圓和模具表面提供高精度分析的3D視覺特征分析軟件。TENCOR 2111具有高度高級的用戶界面,允許對整個系統進行完全控制。數據采集速度、X射線源、測試限制等參數都可以根據用戶需求進行定制。該單元還提供了一個內置的自動對焦，旨在每次都實現快速聚焦和準確的結果。2111設計易於維修,采用模塊化設計,便於更換部件。機器還包括一個審計日誌,它提供了對刀具進行的所有調整的帳戶。總體而言，KLA/TENCOR 2111是先進的面罩和晶圓檢驗資產。它是所有生產環境中的一個特殊模型,可提高產量和降低成本。該設備具有很高的準確性和可靠性，並具有快速和易於維護的持續運行。