二手 KLA / TENCOR 2111 #9410124 待售

ID: 9410124
Defect review system.
KLA/TENCOR 2111是一種高速、自動化的掩模和晶片檢測設備,旨在通過在大規模集成(LSI)掩模和晶片上快速檢測亞微米缺陷來降低成本。這個高度先進的系統采用獨特的掃描方法,利用兩個攝像頭以及高功率光學和算法。第一個CCD相機以低解析度掃描蒙版或晶片,而第二個相機則獲得更高的解析度和更詳細的掃描。這使設備能夠檢測到較小的缺陷,並以比傳統掃描系統更高的精度跟蹤其他數據點。機器還提供了一系列自動缺陷檢測和檢查,包括邊緣缺陷(街道邊緣托盤或組件)、顆粒缺陷(灰塵、汙垢顆粒和其他異物)、線路缺陷(毛發裂紋和其他電氣不連續)和照片編碼缺陷(晶圓制造過程中的錯誤)。該工具可以在幾秒鐘內識別出這些缺陷,甚至可以區分可見缺陷和不可見缺陷。KLA 2111體積小巧,重量輕,移動性強,非常適合實驗室和生產線上的檢查。它還提供了多種用戶友好的功能,例如直觀的觸摸屏界面、可調整的可重復性設置以及詳細的缺陷分析數據。提供了一系列高科技工具,包括高精度變焦顯微鏡、微觀晶片掃描儀和內置故障診斷工具。TENCOR 2111旨在降低成本,提高晶圓和掩模檢測精度,提供一致可靠的結果。它的自動化缺陷檢測和檢查資產有助於提高吞吐量,縮短檢查過程的周期時間,從而加快掩碼和晶圓制造的周轉時間。此外,它的高性能掃描技術和詳細的報告功能有助於確保缺陷的準確性和詳細分析。所有這些功能結合起來,使2111成為最有成效和效率的檢查系統之一。
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