二手 KLA / TENCOR 2125 #9186027 待售

KLA / TENCOR 2125
ID: 9186027
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 2125是一種面膜和晶片檢測設備,為無缺陷生產提供自動晶片和面膜檢測和測量。該系統提供高精度光學、全自動晶片和掩模定位、掃描和分析等高級功能。該單元配有消色差縫投影相機和遠心投影光學機。狹縫相機提供了更大、更均勻的視野,使工具能夠以更高的精度捕捉多層復雜形狀。遠心投影光學資產可確保其視場上的圖像質量一致,從而獲得更精確的測量結果。KLA 2125模型使用了一系列算法來檢測和測量多種缺陷,包括汙染物、粒子缺陷和其他臨界粒子。這些算法分析圖像並根據檢測到的缺陷生成置信度評分。該設備還包括一個內置的高度精確的橫向和垂直測量系統。這樣可以在晶圓上進行精確和可重復的測量。此外,該單元還具有測量對比度和電路臨界尺寸的功能。該機包括VTRF(可變公差參考文件)支持、OCR(光學字符識別)、去除汙染物缺陷修復、修復光刻膠缺陷、關鍵圖樣填充等高級功能。VTRF功能允許操作員自定義工具以滿足其各自的需求和生產需求。該資產還包括一些用戶友好的功能,如易於導航的觸摸屏顯示器、直觀的菜單模型以及廣泛的圖像調整和縮放功能。該設備具有很高的靈活性和可配置性,可以為任何特定應用程序定制該設備。總體而言,TENCOR 2125系統是一個功能強大且可靠的掩模和晶圓檢測單元,提供自動掃描、分析和測量。其先進的特點和用戶友好的界面使其成為半導體制造和質量控制的理想選擇。
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