二手 KLA / TENCOR 2131 #168852 待售

KLA/TENCOR 2131掩模及晶片檢驗設備是晶片掩模檢驗、計量、缺陷審查的綜合檢測系統。為便於使用和高性能設計，該裝置提供自動化的圖像采集、圖像檢查和缺陷審查，以確保高產量和過程控制。KLA 2131具有高分辨率CCD攝像頭和照明模塊,即使在具有挑戰性的掩蔽技術下,也能以高精度捕獲缺陷圖像。這允許用戶檢測和表征各種缺陷，包括針孔和表面汙染物，小至0.02微米。該機還具有自動化的控制工具，能夠快速的設備對準，模式匹配，和缺陷識別。這使用戶能夠輕松地排除和分析有缺陷的掩碼,從而確保過程控制和高產率。TENCOR 2131還包括用於晶圓高精度測量的先進計量工具。這種計量工具包括一種精確、高速的光學對準設備，可確保高精度和可重復性。該模型還包括多種先進的測量和表征算法，用於精確測量缺陷圖像的參數，包括厚度、表面溫度和其他特征。2131還具有直觀的用戶界面,用戶可以在不同的功能之間快速導航並查看圖像。此外,掩模和晶圓檢測設備可輕松集成到現有系統中,從而實現高速數據交換和高效的機對機通信。綜上所述，KLA/TENCOR 2131掩模和晶圓檢測系統提供了一整套工具，用於快速準確的掩模檢測、計量和缺陷審查。通過自動控制單元和高分辨率CCD攝像頭,用戶可以準確檢測和表征低至0.02微米的缺陷,從而確保高產率和過程控制。此外,它的直觀用戶界面和與現有系統的輕松集成使該工具高效高效。