二手 KLA / TENCOR 2131 #195227 待售
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ID: 195227
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Wafer inspection system, 8"
UI System
KLA-2252 System
Monitor
Keyboard
Mouse
Printer
Power and signal cable
Robot
X and Y Chuck stage
PC
Power supply: 120 V, 25 A, 50/60 Hz, Single phase
1995 vintage.
KLA/TENCOR 2131是為生產半導體晶片和掩模測試而設計的下一代掩模和晶片檢測設備。它結合了先進的硬件和先進的軟件，能夠在晶圓制造過程中快速準確地檢測和表征缺陷。該系統能夠以非常高的速度運行，在整個視野中的最大分辨率為50納米。它包括具有彩色CCD相機、高精度舞臺和高強度照明的主子系統。這是一個獨特的多功能高分辨率成像單元，覆蓋晶圓的兩個完整的層稱贊。此外，該機利用各種分析工具，如電子束計量，以最大限度地提高檢驗過程的準確性和可靠性。該工具的直觀軟件使操作員能夠快速有效地設置分析參數並啟動測試。其用戶友好的檢查菜單為操作員提供了一系列選項，包括紅外成像、光譜成像、可視化和度量以及缺陷檢測。此外,資產的實時數據分析允許操作員輕松查看和評估每次檢查的結果。此外,KLA 2131還具有根據行業標準自動分類缺陷的功能。這樣可以實現可預測的檢查結果,並有助於縮短設備制造過程中的周期時間。它還符合行業安全準則和排放標準。TENCOR 2131非常適合廣泛的應用，從晶圓制造到晶圓稀釋和掩模成像。其先進的特性和直觀的軟件使其成為半導體制造和加工的寶貴工具。
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