二手 KLA / TENCOR 2131 #293587730 待售

ID: 293587730
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2131是一種掩模晶片檢測設備,設計用於精確檢測標線和晶片上的大缺陷。它利用先進的高分辨率成像系統,與一個基於物理的模型庫相結合,精確識別各種缺陷類型。該單元可以處理各種檢查序列,如缺陷審查、掩模對晶片的比較和隔離,使OEM能夠快速可靠地檢查標線和晶片。該機器配備了高分辨率成像工具,提供卓越的圖像對比度,並能夠在廣泛的動態範圍內捕獲缺陷。它可以精確地檢測到小到幾納米大小的缺陷,並具有處理各種輸入材料的靈活性,如薄膜、玻璃晶片、石英晶片和IC晶片。資產中的庫模型旨在快速準確地識別各種潛在缺陷類型,從缺少電氣組件到許多其他物理缺陷。模型庫由基於物理的模型和邊緣缺陷、線缺陷、復合缺陷、缺失元素等基本結構模型組成。該庫允許用戶構建自己的定制模型,甚至在困難的照明條件下檢測缺陷,如低強度偏振光。該模型還提供了功能強大的數據分析軟件,使用戶能夠分析圖像,並執行各種操作,如數據校正、增強和陰影均衡,以改進對各種材料的缺陷檢測。數據分析和缺陷檢測軟件使OEM能夠深入了解根源,評估和分析缺陷,並及時向設計人員提供反饋。KLA 2131是廣泛的掩模和晶圓檢測應用的理想工具,保證了高精度和吞吐量。其直觀的用戶界面、強大的庫模型和數據分析軟件,使得對掩碼和晶片的可靠和準確的檢查成為可能。它還有助於縮短關鍵集成電路應用的上市時間。
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