二手 KLA / TENCOR 2131 #293749625 待售
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KLA/TENCOR 2131是一種掩模和晶圓檢驗儀器。它用於檢測用於制造微電子器件的晶片和掩模上的缺陷。該設備設計堅固可靠,能夠在各種應用中檢查掩模和晶片缺陷,包括模具連接、線束和背面檢查。KLA 2131利用高分辨率、多波長掃描電子顯微鏡(SEM)成像系統檢測掩模和晶片上的缺陷。該裝置采用專利的屏蔽能源組件(SEA)光屏蔽技術,為操作員提供屏蔽環境,確保準確識別和檢查所有缺陷。該儀器配有大功率4kV電子束,可創建高分辨率圖像,非常適合檢測大小缺陷。TENCOR 2131還利用先進的缺陷檢測算法和圖像分析來對比晶圓和掩碼上的模式,從而能夠對各種缺陷進行最準確的檢測。該機具有檢測不透明、短褲、剝落、像差、空隙、針孔等各種故障類型等缺陷的能力。該工具可用於廣泛的應用,包括:圖像匹配、集成電路成像、高級模式識別和光刻。該儀器還具有自動晶片載波資產,允許高速自動晶片檢查。晶圓載波模型包括一個晶圓多cope,可以編程來同時檢測多個區域的缺陷。設備還包括一個監控控制模塊來控制儀器的功能和程序。2131是最先進的掩碼和晶片檢查系統之一,提供高分辨率圖像和缺陷檢測功能。它的自動化晶圓載波系統為操作員提供了一個更快、更高效的過程,可以更精確地完成。該單元適用於多種應用,包括模具鍵合、線束和背面檢測。
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