二手 KLA / TENCOR 2131 #293752263 待售
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KLA/TENCOR 2131是一種用於半導體掩模和晶片目視檢測的設備,提供了比傳統方法更高精度的綜合缺陷檢測能力。該設備具有廣泛的特點和應用,可以量身定制以滿足特定的要求,使其成為半導體制造中不可或缺的工具。該系統利用專利陰影技術,利用傳感器檢測半導體掩模和晶片中存在的缺陷。然後應用算法確定每個缺陷的確切位置和大小。在操作過程中,設備可以檢測到劃痕、顆粒、空隙、非均勻性和其他汙染物。此外,對於每一種缺陷,機器可以確定表面的顏色和亮度,以及缺陷的大小。利用這些信息,刀具會標記晶片或掩模的潛在缺陷,以便進一步研究。除了缺陷檢測,資產還為叠加、平整度和線寬測量等應用提供了多種成像選項。該模型附帶一個包含3D查看器的軟件套件,允許用戶一次查看多個圖像並輕松瀏覽它們。它還具有檢測晶片中材料缺陷的能力,如金剛石挖溝、臺階檢測等等。設備本身裝在一個安全、環境控制的機櫃中,由一個高分辨率彩色液晶顯示屏和一個光學感應頭組件組成。光頭可旋轉超過360度,角分辨率為0.001度。系統還具有LED和棱鏡來區分特征,以及幾個內置濾鏡來調整光強度或改變圖像的光譜。KLA 2131是一種高度可靠和準確的單元,用於檢測和評估半導體掩模和晶片上的缺陷。其先進的算法,結合優越的光學元件,提供無與倫比的精度和性能.該機也易於操作,並附帶了幾個用戶友好的軟件應用。總之,它是半導體制造的寶貴工具,是質量控制應用的理想選擇。
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