二手 KLA / TENCOR 2131 #293815220 待售

KLA/TENCOR 2131是一種掩模和晶圓檢測設備，設計用於最苛刻的生產和大批量吞吐量要求。全面的KLA 2131高級缺陷檢測系統為業界領先的半導體制造商提供了強大的功能組合,包括深度晶圓和標線缺陷檢測。TENCOR 2131的設計滿足了單單元平臺內生產、質量和過程控制的苛刻要求。2131機器融合了多通道光學架構、高分辨率掃描階段和快速圖像采集。這種組合創造了一種高通量的檢測工具,它能夠缺陷檢查300 mm、200 mm和更小的模具尺寸,支持從0.7微米到5微米的光學分辨率,覆蓋最廣泛的設備幾何形狀。該資產采用全自動、安靜、易於使用的設計,旨在優化流程並縮短周期時間。KLA/TENCOR 2131提供集成的高級缺陷檢測功能,使客戶能夠將實際結果與預期性能進行比較。缺陷檢測軟件將提醒用戶進程中的任何異常,如臨界尺寸缺陷和其他次要性能問題。該模型還提供了易於使用和易於理解的可自定義圖形用戶界面。KLA 2131提供針對某些技術優化的4層或8層模型的光學層檢查。它允許用戶檢查特定的層或層的組合（以優化檢查的精度）。它還具有廣泛的動態範圍，使用戶能夠補償變化的材料厚度或層圖樣。TENCOR 2131能夠以高精度和可重復性在多個站點進行測量和比較。該設備還包括基於地圖的缺陷查看功能,如缺陷掃描儀和地圖查看器,可幫助用戶可視化過程結果並快速做出決策。此外,它還提供晶圓級非光學檢查功能,如3 D臨界尺寸、顯微圖查看和自動針跡探測。2131提供高級數據采集和分析能力，如報告生成、直方圖和趨勢分析，以支持流程和產量控制。來自系統的數據可以存儲在SPC格式的文件中，用於數據分析工具。綜上所述，KLA/TENCOR 2131是為滿足最苛刻的生產和大批量吞吐量要求而設計的先進的掩模和晶圓檢驗裝置。它具有易於使用的圖形用戶界面、強大的缺陷檢測軟件、基於地圖的缺陷審查功能以及強大的數據采集和分析功能。這臺機器確保對各種不同尺寸和形狀的半導體結構進行精確的缺陷檢查和過程控制。