二手 KLA / TENCOR 2131 #9186639 待售

ID: 9186639
晶圓大小: 8"
Inspection system, 8" Parts machine.
KLA/TENCOR 2131是一種掩模和晶圓檢驗設備。它是一種自動化的計算機控制設備,具有先進的高速測量、光學和統計分析軟件,為掩碼和晶圓缺陷檢測提供超高分辨率成像。先進的光學技術為半導體掩模和晶片提供了卓越的圖像細節和圖像識別能力。光學設備采用激光照明系統和高分辨率CCD(電荷耦合器件)相機,提供清晰的缺陷圖像。它包括一個低噪聲的線性二極管陣列和一個高分辨率的空距變焦鏡頭。照相機單元可以放大被檢查的物品最大256X倍,最大線條和空間測量值為0.12微米,提供足夠的分辨率和靈敏度來執行小特征臨界缺陷檢測。KLA 2131有一個可以分離的多個樣本階段,以便提供一個清潔無塵的環境。其自動視覺機器提供了對超出傳統成像的缺陷的自動檢測和識別。它還可以通過在檢測到缺陷後繼續掃描來分析弱缺陷,如橋接。該工具結合了一系列高級軟件應用程序,提供全面的圖像分析和缺陷分類。它包括一整套用於缺陷表征的高級光學工具,如缺陷分類、邊緣檢測和極性分析。它還包括各種統計和可視化工具,這些工具為缺陷分布提供了有用的衡量標準。TENCOR 2131檢測資產具有較高的生產率和精確度,具有快速的缺陷識別和缺陷分類,能夠準確分類和報告缺陷。它的高級軟件專為易於使用而設計,其圖形用戶界面使用戶能夠快速輕松地監視、分析和查看數據。總體而言,2131是一種強大的掩碼和晶圓檢測模型,提供高分辨率成像、先進的圖像分析和缺陷分類能力,以及卓越的軟件能力。它結合了先進的光學和軟件技術,為半導體檢測提供了可靠、經濟高效的解決方案。
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