二手 KLA / TENCOR 2131 #9210335 待售
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KLA/TENCOR 2131是一種掩模和晶圓檢測設備,用於檢測半導體制造過程中的缺陷。系統使用五軸電動級來收集可能對電路性能產生不利影響的缺陷圖像。該單元配備了兩個電子束技術陰極射線管(CRT)和一個高精度數碼相機,以獲取特征的圖像。此外,機器還設有一套軟件工具,旨在自動化缺陷檢測的過程,包括色罩和模式識別技術。結合這兩種圖像采集系統,KLA 2131能夠獲得比許多傳統晶圓檢測系統高得多的分辨率圖像。它還具有幾種不同的測試模式,如掃描電子顯微鏡(SEM)成像、自動聚焦能力和激光檢測/解析檢查。這些功能提供了出色的檢測和成像性能,能夠快速識別和糾正缺陷。該工具還配備了一系列工業級遠心鏡頭和光學器件,用於高精度成像。這些鏡頭可以配置為獲取特定角度和分辨率的圖像,從而能夠檢測到微小的缺陷,否則這些缺陷將無法在較低的級別進行檢測。此外,該資產還能夠將圖像存儲在可搜索的數據庫中,以便於查看和比較。TENCOR 2131是半導體制造商的強大工具,它在缺陷檢測和校正方面提供了令人印象深刻的性能和準確性。該模型還通過減少人工檢查和節省時間來幫助降低生產成本。最後,圖像采集系統、軟件工具和2131內的遠心鏡頭的結合使其成為最先進的掩模和晶圓檢測系統之一。
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