二手 KLA / TENCOR 2131 #9383244 待售

KLA/TENCOR 2131是一種掩模和晶圓檢測設備，設計用於提供可靠和高精度的缺陷檢測。它能夠檢測多種基板，包括半導體晶片、平板顯示器、非易失性記憶芯片、有機發光二極管和太陽能電池。功能包括自動配方構建、晶圓映射、缺陷識別和分類。系統使用自動對齊機制將基板與具有集成傳感器元件的窗口精確對齊。這使得蒙版和晶圓定位非常精確，以防止由於未對準而產生錯誤。集成傳感器使用光學和成像技術的組合來檢測基板上的各種缺陷。這些技術包括亮場成像、暗場成像、透射探針照明（TPI）和區域掃描成像。該單元還能夠檢測一系列缺陷，如顆粒和汙染、空隙和開口、皺紋、眼淚和相位異常。缺陷檢測機與缺陷分類和審查模塊集成在一起，以幫助技術人員評估結果。工具收集的信息存儲在用戶定義的數據庫中,以便進行高效、準確的缺陷分析。KLA 2131采用符合人體工程學的用戶界面設計，操作簡單。GUI提供了關於資產狀態的清晰、簡潔的直觀反饋,使技術人員能夠輕松監控檢查過程。此外，它還具有接受各種用戶定義參數的靈活性，使其能夠高度定制以滿足特定行業的要求。此外,該模型還配備了一個診斷端口,便於自動設備健康評估,使技術人員能夠快速識別和解決任何問題。總體而言，TENCOR 2131是一個先進的系統，設計用於對掩模和晶片進行可靠和準確的檢查。它具有高度的柔韌性，使得它適用於廣泛的底物和缺陷類型。它還具有一個用戶友好的界面,使技術人員易於使用,並具有多種附加功能,使其具有高度可定制性。