二手 KLA / TENCOR 2131 #9404524 待售

KLA/TENCOR 2131是一種為半導體制造工藝設計的自動掩模和晶圓檢測設備。它既可用於光學應用，也可用於模具計量應用。該系統使用兩個工作站，一個用於對齊，另一個用於最後檢查。對齊工作站包含兩個對齊模塊,即自對齊模塊和自動對齊模塊。自對準模塊使用高級圖像分析技術將晶片自對準所需的模式。自動對齊模塊使用編程的掩碼來識別和對齊晶片。最終檢查工作站配備了多個傳感器，測量模式和缺陷。這些傳感器包括光學顯微鏡陣列、X射線、電子顯微鏡和CMOS傳感器。該單元還有一個單一的缺陷分類模塊，能夠同時測量多個缺陷。該機檢查速度高，每小時高達1萬個晶圓，適合大批量生產環境。此外,它還可以精確檢測80%和更高的產量,從而在各種工藝條件下使用。該工具還能夠分析測量結果並自動給出通過或失敗的結果,從而能夠更快地對過程進行重新設計。此外,它還具有直觀的用戶友好圖形界面,便於設置和操作。KLA 2131是高精度掩模和晶圓檢測的基本工具。其高速、高精度、直觀的用戶界面使其適合廣泛的應用。無論是用於小批量運行還是大規模生產，TENCOR 2131都能幫助優化檢測結果，提高產量。