二手 KLA / TENCOR 2131E #9384640 待售
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KLA/TENCOR 2131E設備是一種掩模和晶圓檢測系統，旨在評估各種集成電路的完整性和均勻性。它使用先進的光學顯微鏡技術，快速準確地診斷和修復可能存在於各種基質中的小缺陷和汙染物。該單元建立在KLA 2131E機器平臺上,該平臺能夠成像和探測,以精確生成完整的24位彩色圖像,並對各種基板進行精確測量。它利用高度進化的高分辨率算法，以極低的缺陷高速快速成像。該機還利用幾何傳感器和快速數字成像技術檢測和測量小至1微米的缺陷。它具有快速、準確的測量功能,可提高多種設備類型的產量。TENCOR 2131 E具有識別和處理大批量晶圓的能力，每小時高達20,000晶圓。該工具具有高度可調性，允許用戶根據每個采樣集的需要配置資產。該模型還具有檢查金屬薄膜（如銅和鋁）以及陶瓷和玻璃的能力，從而創建每種材料的輪廓。此外，它還可以測量可能影響產品性能的塗層和其他汙染物。2131 E設備還具有檢測某些缺陷和小顆粒的能力，這些缺陷和小顆粒可能在傳統光學顯微鏡下沒有被發現。該系統可以檢測顆粒汙染以及晶圓從表面到背面的缺陷。它還具有定位來自光阻或蝕刻缺陷的電損壞以及嵌入晶片內的異物的能力。該單元還具有高級缺陷分類和圖像處理工具、自動缺陷列表、高速批處理報告等附加功能。機器的用戶友好界面和高度可視化的設置使其易於操作和快速編譯必要的數據。KLA 2131 E工具是精確快速檢查各種材料的理想解決方案。它具有檢測和分析最小缺陷的能力,其快速、精確的成像功能使其成為各種行業應用的絕佳選擇。
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