二手 KLA / TENCOR 2132 #135009 待售

KLA/TENCOR 2132是一種用於提高半導體產量、質量和可靠性的掩模和晶圓檢測設備。它結合了先進的光學、精密的軟件和閃電晶片檢測技術，以微米級精度檢測缺陷。該系統配有高分辨率CCD相機和遠心光學器件，以捕捉高達8mm x 8mm視場的掩模或晶圓圖像。遠心光學校正角度視圖造成的幾何失真，從而允許更高的圖像質量和檢測精度。該單元還具有一個Infinity Focus Beam Profiler,它在光學的焦點處創建一個成像平面,從而創建被檢查表面的3D激光輪廓圖。KLA 2132的特點是具有用戶友好的圖形界面和自動檢測算法的控制機器。該工具允許對掃描曲面進行單擊設置和快速處理。它還包含一個自動校準功能，優化成像參數以保持高水平的定位精度。此外,資產還配備了一系列質量分析模塊、智能技術,用於分析復雜缺陷並生成詳細的缺陷測量和分析報告。這包括模具對模具的比較，顏色映射和環分析缺陷檢測和分類。TENCOR 2132自動對準器，一系列鏡子和鏡頭，允許像差校正，不需要手動光學對準。該模型還包括一個步進集成選項，它允許在步進曝光期間實時對晶片進行高分辨率檢查，從而能夠快速準確地監測缺陷。2132使半導體制造商有能力在微觀尺度上進行檢查，以識別和減輕產量損失和生產缺陷。除了提供清晰、詳細的圖像外,這些設備還提供先進的自動化缺陷檢測和分類,使制造商能夠提高產品的質量和可靠性。