二手 KLA / TENCOR 2132 #192495 待售

KLA/TENCOR 2132是一種用於半導體制造的掩模和晶圓檢測設備。它提供了一般缺陷檢測、復雜缺陷類型具有挑戰性的自動檢測（CAI）以及最終缺陷確認的審核功能。KLA 2132提供了一個光學檢查系統，具有6英寸（150毫米）的檢查能力和多個晶圓尺寸之間的快速轉換。它能夠以約0.2 μ m的分辨率提供100 μ m的視場（FOV）,這意味著它能夠精確檢測甚至納米尺度的缺陷。該設備還具有先進的缺陷檢測算法，可以有效識別粒子和光學缺陷類型，如橋梁、劃痕、裂紋、粒子、針孔等。機器使用專有的光學掃描體系結構來快速準確地獲取和處理圖像。這樣提供的景深足以檢查各種缺陷類型。然後將圖像與參考圖像進行比較,以檢查是否存在缺陷相關的變化。此外，TENCOR 2132還包括缺陷分類、缺陷自動檢測、缺陷分析、缺陷審查、缺陷處置等缺陷檢測功能。該工具包括一個方便用戶的控制軟件，為用戶提供檢查的清晰、詳細的結果。它還定制了用於增強圖像可視化和分析的「一流」工具。界面允許操作員輕松指定參數，查看結果，快速細化分析。2132是用於檢查表面是否存在潛在缺陷的極為通用和可靠的工具。其先進的算法和光學資產使其能夠準確、精確地檢測納米級缺陷，同時為用戶提供清晰、易於理解的結果。該模型是任何需要高級檢驗和缺陷分析的制造商的理想解決方案。