二手 KLA / TENCOR 2132 #293586850 待售
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KLA/TENCOR 2132是一種用於最大檢測能力、大面積覆蓋和提高吞吐量的掩模和晶圓檢測設備。該系統利用先進的光學檢測技術（CoherentBackScatter和UV）對掩模和晶圓的不同表面層同時成像。它還包括圓度儀器、晶圓傳輸模塊和多分辨率測量自動放大器。相幹後散射（CBS）適合於對掩模和晶圓圖樣進行快速準確的檢查，並作為檢驗時間短至5秒/片的驗證工具。UV單元包括UV燈和UV光源，對任何類型的缺陷提供高靈敏度，甚至低於衍射邊距。圓度儀器包含多個4軸微焦加速度計，這些加速度計在高速下以納米分辨率測量晶圓的圓度。晶圓傳輸模塊將晶圓從檢查區域傳輸到自動放大器。自動放大器的設計能夠精確檢查晶圓表面上隨機分布的非常小的結構，從而能夠對準和測量尺寸小於150 nm的結構。KLA 2132是一種經濟高效、可靠的掩模晶片檢測機，適用於晶片蝕刻圖樣和缺陷的自動表征。該工具兼容模具檢測和多重形態分析，其高端相機提供復雜形狀和圖案的實時成像。該設備配備了先進的模式匹配算法，以及全面的故障覆蓋能力和基於特征的測試分析。總體而言,TENCOR 2132是一種多用途、先進且方便用戶的資產,由先進技術和專用軟件應用程序組成。其強大的濾波器和公差測量算法能夠檢測任何生產過程中的微小缺陷，確認晶片或掩模的精確質量和功能。
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