二手 KLA / TENCOR 2132 #293603077 待售
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KLA/TENCOR 2132是一種先進的掩模和晶片檢測設備，旨在通過自動缺陷檢測、分類和報告，促進逐步提高晶片產量。該系統將高分辨率成像子系統與功能強大的缺陷審查軟件和通用的處理單元結合在一起,在一臺機器中提供晶瑩剔透的缺陷圖像和可操作的缺陷報告。面罩和晶片檢查工具的設計可以精確地對標準和高級節點面罩和晶片表面成像,即使光學放大倍數為5倍和10倍。精密表面穩定的全機化光學級提供了快速高效的掃描，加上高性能的5百萬像素電子倍增電荷耦合器件（EMCCD）相機優化信噪比和最小圖像模糊。所有信號處理均采用自動平場校正和故障檢測實時完成。功能強大的缺陷審查軟件允許用戶快速整理大量缺陷數據,以識別和隔離需要進一步調查的缺陷。該資產提供手動和自動缺陷審查,靈活的用戶控制允許設置特定的缺陷標準,並修改許多參數以快速提供高保真度、準確的報告。通用的處理模型允許掩模和晶片檢查設備根據應用程序與幾乎任何設備或過程接口。該系統提供無摩擦的數據和信息自動傳輸,支持單階段和多級流程、全自動數據收集和比較,以及可配置的軟件和硬件設置,以適應各種應用程序。所有這些特性使得KLA 2132成為一個非常可靠和高效的選擇，以滿足掩模和晶圓檢查的需要。該設備的高級體系結構提供了無與倫比的性能和高純度晶圓產量,從而改進了過程監控,確保了客戶的最高質量和可靠性。
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