二手 KLA / TENCOR 2132 #293628427 待售

KLA/TENCOR 2132是一種用於檢測微電子器件制造中使用的光掩模和晶片電路模式缺陷的掩模和晶片檢測設備。為有效制造高密度、高分辨率的集成電路提供三維精度的高速模式檢測。該系統具有先進的模式識別和材料識別技術，能夠對電路模式進行高度詳細的分析，重點是缺陷檢測。通過創建存儲在KLA 2132板載內存中的參數化圖像來檢查掩碼和晶片模式。參數化圖像用於將掩碼和晶圓圖樣與用於定義圖樣的參考圖像進行比較。此比較過程允許設備定位和識別陣列中的特征。然後分析檢測到的特征,以確定它們是否與參考陣列和預定義參數一致。TENCOR 2132利用專有的高精度算法檢測模式異常。此算法檢查表面地形、邊緣異常、陣列線放置、關鍵特征檢測以及其他陣列參數。識別缺陷後,機器可以指定其大小、位置、類型和其他相關信息。此外,該工具還可以將其檢查結果與現有的模具設計數據庫集成在一起,以實現現場故障分析。2132還具有自動校正粒子檢查功能,通過應用基於模式的校正算法自動從掩模或晶片圖樣中清除檢測到的顆粒或汙染。最後,該資產是專門為24小時運行而設計的,因為它易於訪問的工具和部件允許定期維護和對齊自動化。KLA/TENCOR 2132是一種先進的模型,旨在提供關鍵的檢測和故障分析解決方案,旨在最大限度地降低生產成本,並最大限度地提高高密度、高分辨率集成電路的制造產量。該設備集成了高度先進的模式識別和材料識別技術,能夠在苛刻的工業環境中進行精確的模式分析和缺陷檢測。憑借其創新的解決方案，KLA 2132為確保微電子器件制造的高質量提供了一個強大的軟件包。