二手 KLA / TENCOR 2132 #293747978 待售

KLA/TENCOR 2132是一種用於檢測半導體制造中光刻缺陷的掩模和晶圓檢測設備。它采用先進的深度學習算法對晶圓和標線上的缺陷進行識別、分割和分類,從而提高了制造產量,加快了工藝周轉時間。KLA 2132系統提供了業界領先的圖像采集單元,具有雙傳感器,能夠以立體聲方式捕獲每晶片多達200層薄膜,每像素最多256位。此外，TENCOR 2132機器最多可同時檢測四個晶片，進一步減少了檢測時間。該工具還提供嵌入式28 nm節點缺陷分類功能,能夠檢測和分類掩碼和晶片上30多種類型的缺陷,包括幾何圖樣不均勻。這包括垂直、水平和傾斜線起伏和汙染等特征,以及轉彎差異、線路停止和底切。有了這種檢測能力，2132資產可以同時識別固定模式和隨機缺陷。除了高精度成像和缺陷分類功能外,KLA/TENCOR 2132模型還提供了眾多的過程控制和監控功能。它提供了自動晶片對準和測試時間優化，從而減少了晶片檢查所需的時間。該設備還具有基於圖像的慢速和快速掃描功能，可減少檢查時間並實現對過程的快速反饋控制。KLA 2132還為掩模和晶片提供了一整套測量功能,可準確確定工藝參數。最後,TENCOR 2132提供了易於使用的圖形用戶界面,可以完全控制檢查過程。2132掩模和晶圓檢測系統具有全面的特性和功能,為半導體行業提供了強大而準確的解決方案,從而實現了更高效、更可靠的制造過程。