二手 KLA / TENCOR 2132 #293749626 待售

KLA/TENCOR 2132是一種高性能的掩模和晶圓檢測設備，旨在實現高通量的半導體制造。該系統具有一系列性能驅動功能,旨在方便準確地檢測半導體制造過程中使用的掩模和晶片中的微缺陷。該單元的核心是一個500萬像素的數字成像子系統，由各種CCD組成，放大了13倍。這些成像子系統能夠快速準確地檢測各種高靈敏度的微缺陷。所有圖像信息都使用機器的Multi-Scanning Technology進行處理,從而可以識別和隔離最小的缺陷。這項技術還可以快速處理和分析所獲得的圖像。該工具與各種缺陷傳感器兼容,包括3D測量所需的傳感器和各種缺陷評估技術。它還可以實現廣泛的無缺陷模式分析技術,例如對隔離元素的檢查、總缺陷檢查和模式完整性。該資產的設計目的是在各種各樣的材料上進行，包括金屬、多晶矽、聚氯乙烯和氧化物。KLA 2132的用戶界面直觀明了，便於瀏覽型號的特點。它允許使用各種圖像集,包括具有復雜數據類型的圖像集,並提供設置多個自動化作業序列的功能。此外,它還提供了一個高度可定制的檢查報告頁面,能夠顯示包含文本數據和彩色圖像的詳細結果。該設備還易於擴展,具有內部擴展插槽,可以更輕松地添加額外的軟件容量和映像功能。它還包括一個自動檢查配方功能,以及一個菜單驅動的樣本/批次設置菜單,方便在每種新基板之前設置檢查。TENCOR 2132設計具有多種安全特性，包括ESD防護閘、檢疫防護閘、自動節氣操作等。2132是市場上最先進、最可靠的面膜和晶圓檢驗系統之一。其強大的成像技術、直觀的用戶界面和可靠的安全功能使其成為任何先進半導體制造設施的絕佳選擇。